• Correo ElectrónicoCorreo Electrónico
  • Dirección Nacional de Información AcadémicaDNINFOA - SIA
  • BibliotecaBibliotecas
  • ConvocatoriasConvocatorias
  • Identidad U.N.Identidad U.N.
Escudo de la República de ColombiaEscudo de la República de Colombia
  • English 
    • español
    • English
    • português (Brasil)
  • Aspirantes
  • Estudiantes
  • Egresados
  • Docentes
  • Administrativos
repositorio.unal.edu.co
Bibliotecas
  • Mapa de sedes
  • Amazonía
  • Bogotá
  • Caribe
  • Manizales
  • Medellín
  • Orinoquía
  • Palmira
Biblioteca Digital
  • Repositorio Institucional
  • Entrega de tesis y publicación en línea
  • Digitalización de documentos
  • Normatividad publicación en línea
  • Portal de Revistas UN
  • Suscripción a contenidos UN
  • Contáctenos
Recursos Bibliográficos
  • Recursos electrónicos
  • Catálogo UN
  • Diccionarios y enciclopedias
  • Herramientas bibliográficas
  • Libros electrónicos
  • Descubridor
  • Índices bibliográficos
  • Adquisicion de material bibliografico
Formación
  • Agenda de formación
  • Solicitud de nuevo taller
  • Guía de autoarchivo de documentos
Acerca de
  • Misión y visión
  • Dirección Nacional de Bibliotecas
  • Convenios y redes
  • Video del Sinab
  • Preguntas frecuentes
Sedes
  • Amazonia
  • Bogotá
  • Caribe
  • De La Paz
  • Manizales
  • Medellín
  • Orinoquia
  • Palmira
  • Tumaco
Servicios
Perfiles
Home
    • español
    • English
    • português (Brasil)
  • Login
View Item 
  •   Institutional Repository of Universidad Nacional
  • 3 - Revistas UN
  • Dyna
  • View Item
  •   Institutional Repository of Universidad Nacional
  • 3 - Revistas UN
  • Dyna
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos a partir de películas delgadas

Thumbnail
68837-385302-1-PB.pdf (626.4Kb)
Date published
2018-04-01
Author
Realpe, Jhon Jairo
Bolaños-Pantoja, Gilberto
Florez, Juan Fernando
Metadata
Show full item record

Summary
Este artículo presenta el diseño e implementación de un sistema de fotolitografía para fabricar microdispositivos basados en películas delgadas. El sistema trabaja con una fuente ultravioleta (UV) de 380nm y permite obtener microestructuras de 10-200 μm. La implementación se hizo con el proceso de diseño y desarrollo de productos, donde se determinó las especificaciones técnicas, generación, selección y prueba de conceptos de los módulos de equipo del sistema. Se implementó un spincoater con rango de operación de 500-6000 rpm y una fuente de radiación UV basada en LEDs UV, con potencia de radiación de 1-20mW/cm2 y tiempo de exposición de 1-60s. Se obtuvo micropuentes (mPs) de 30-105μm sobre películas delgadas de cobre. Con microscopía óptica y procesamiento digital de imágenes, se determinó que el error relativo porcentual en sus áreas es menor al 4% y la variabilidad en sus anchos es menor a dos veces la desviación estándar.
 
This article presents the design and implementation of a photolithography system to manufacture microdevices based on thin films. The system works with ultraviolet (UV) source of 380nm and allows to obtain 10-200 μm microstructures. The implementation was made with the product design and development process, where the technical specifications, generation, selection and proof of concepts of the system equipment modules were determined. A spincoater with an operating range of 500-6000 rpm and UV radiation source, based on LEDs, with ranges in power of 1-20mW/cm2 and time of exposure 1-60s, were implemented. With optical microscopy and digital image processing, it was determined that the percentage relative error in their areas is less than 4% and the variability in their widths is less than two times the standard deviation.
 
Subject
product design ; photolithography ; microdevice ; thin films ; diseño de productos ; fotolitografía ; microdispositivo ; películas delgadas ;
URI
https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/68521
Collections
  • Dyna [1614]

Browse

All of DSpaceCommunities & CollectionsBy Issue DateAuthorsTitlesKnowledge AreasThis CollectionBy Issue DateAuthorsTitlesKnowledge Areas

My Account

LoginRegister

Statistics

View Google Analytics Statistics
Régimen Legal
Talento humano
Contratación
Ofertas de empleo
Rendición de cuentas
Concurso docente
Pago Virtual
Control interno
Calidad
Buzón de notificaciones
Correo institucional
Mapa del sitio
Redes Sociales
FAQ
Quejas y reclamos
Atención en línea
Encuesta
Contáctenos
Estadísticas
Glosario

Contacto página web:
Carrera 45 # 26-85
Edif. Uriel Gutiérrez
Bogotá D.C., ; Colombia
(+57 1) 316 5000

© Copyright 2014
Algunos derechos reservados.
mediosdigitales@unal.edu.co
Acerca de este sitio web

Actualización: 04/10/19

Orgullo UNOrgullo UNAgencia de noticiasAgencia de noticias
Trámites en líneaContaduría General de la República