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dc.rights.licenseAtribución-NoComercial 4.0 Internacional
dc.contributor.advisorPulzara Mora, Álvaro (Thesis advisor)
dc.contributor.advisorDevia Cubillos, Alfonso (Thesis advisor)
dc.contributor.authorGarcía García, Luis Alpidio
dc.date.accessioned2019-06-24T16:30:11Z
dc.date.available2019-06-24T16:30:11Z
dc.date.issued2001
dc.identifier.urihttps://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/7166
dc.description.abstractEl desarrollo de este trabajo, consiste básicamente en la caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma; este sistema consta de una cámara cilíndrica en acero inoxidable la cual contiene en su interior dos electrodos (ánodo-cátodo). Al generar un arco pulsado entre ellos, se presenta un vigoroso vapor metálico utilizado para producir una capa muy delgada (recubrimiento) sobre un substrato. En este trabajo se calcularon parámetros básicos como temperatura electrónica (Te), densidad electrónica (ne), potencial del plasma en la región interelectródica, utilizando la técnica de sonda eléctrica doble. Análisis de las muestras y del material catódico utilizando microscopía de fuerza atómica y un microscopio electrónico permitió determinar los tipos de spots , modos de transición del arco e identificar macropartículas que son emitidas en estado liquido por el material catódico y que generan variaciones en lo parámetros del plasma.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isospa
dc.relation.ispartofUniversidad Nacional de Colombia Sede Manizales Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
dc.relation.ispartofFacultad de Ciencias Exactas y Naturales
dc.rightsDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombia
dc.rights.urihttp://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
dc.subject.ddc53 Física / Physics
dc.subject.ddc62 Ingeniería y operaciones afines / Engineering
dc.titleCaracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma
dc.typeTrabajo de grado - Maestría
dc.type.driverinfo:eu-repo/semantics/masterThesis
dc.type.versioninfo:eu-repo/semantics/acceptedVersion
dc.identifier.eprintshttp://bdigital.unal.edu.co/3491/
dc.description.degreelevelMaestría
dc.relation.referencesGarcía García, Luis Alpidio (2001) Caracterización eléctrica de un sistema de deposición de películas delgadas por plasma. Maestría thesis, Universidad Nacional de Colombia - Sede Manizales.
dc.rights.accessrightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess
dc.subject.proposalFísica del plasma, Descargas de arco en vacío, Sondas electrostáticas, Diagnóstico de plasma, Arcos (Electricidad), Sondas de plasma, Películas delgadas
dc.type.coarhttp://purl.org/coar/resource_type/c_bdcc
dc.type.coarversionhttp://purl.org/coar/version/c_ab4af688f83e57aa
dc.type.contentText
dc.type.redcolhttp://purl.org/redcol/resource_type/TM
oaire.accessrightshttp://purl.org/coar/access_right/c_abf2


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