Microestructura de recubrimientos de nitruros metálicos de transición producidos con la técnica de sputtering asistido con campos magnéticos variables.

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Date published

2007

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Subject

Magnetrón desbalanceado ; nitruros metálicos de transición ; microestructura ; orientación preferencial. ; Unbalanced magnetron ; transition metallic nitride ; microstructure ; preferential growth. ;

URI

https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/73656

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MOMENTO - Revista de Física [465]