Atribución-NoComercial-SinDerivadas 4.0 InternacionalGarzón Ospina, Carlos MarioVergara Lozano, Giovanny Andrés2020-07-022020-07-022019https://repositorio.unal.edu.co/handle/unal/77731Por medio de pulverización catódica en atmósfera reactiva se depositaron películas nanoestructuradas, cristalinas y sin nitruros de cromo, sobre sustratos de acero utilizando un blanco del acero austenítico UNS S31603. Estas presentaron estructura ferrítica, austenítica, dúplex (ferrita + austenita) o nitruro MN (M: metal), dependiendo de los parámetros de operación del reactor y del flujo de N2. La concentración de nitrógeno varió desde cero (Ar 1,2 sccm) hasta cerca de 50 %-at (Ar 1,2 sccm + N2 11,2 sccm). La dureza de las películas estuvo entre 8 – 13 GPa, mientras la dureza del blanco fue 2 – 3 GPa. El carácter dúctil – frágil de las películas varió, desde ductilidad muy elevada hasta comportamiento frágil ante cargas de indentación. De forma similar, se obtuvieron películas con elevada adherencia y baja cohesión al sustrato. Este trabajo propone un análisis para explicar la dependencia entre los parámetros de operación del reactor, la estructura, las propiedades mecánicas y las adherencias observadas.Stainless Steel (SS) crystalline films, with no chromium nitride formation, were deposited on SS substrates by reactive sputtering, using a UNS S31603 target. Films obtained showed different structures, namely ferrite, austenite, duplex (ferrite + austenite) and MN nitride, according to both operational reactor parameters and N2 flow rate. Nitrogen uptake in film varied between N-lean films (Ar 1,2 sccm) up to near 50 %-at N (Ar 1,2 sccm + N2 11,2 sccm). Films hardness varied 8-13 GPa, while target hardness was around 2 – 3 GPa. Film ductile vs fragile character varied from very high ductile films, up to films with fragile performance films under contact indentation loads. In a similar manner, film-substrate adherence varied from extremely high up to films with cohesive failure, in both micro-indentation and scratch test. In this research, a depth analysis of sputtering parameters, film structure, and film tribomechanical performance is presented.137application/pdfspaDerechos reservados - Universidad Nacional de Colombiahttp://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/660 - Ingeniería química::669 - Metalurgia620 - Ingeniería y operaciones afines::629 - Otras ramas de la ingenieríaTrabajo de grado - MaestríaAcceso abiertoinfo:eu-repo/semantics/openAccessadherenceadherenciaMN nitrideensayo de rayadonitrógeno en acerosNano hardnessnitruro MNnitrogen in steelsscratch testpelícula de acero inoxidablepulverización catódica reactivastainless steel filmreactive sputteringnanodureza