Estudio de las propiedades ópticas y eléctricas de películas delgadas de TiAlCrN depositadas por “co- sputtering” reactivo

Abstract

En la presente investigación se estudiaron las propiedades eléctricas y ópticas de recubrimientos de TiAlCrN con diferentes concentraciones de Cr y espesores aproximados de 222±25 nm y 1040±40 nm. Los recubrimientos se depositaron sobre sustratos de vidrio mediante la técnica de “co-sputtering” reactivo empleando blancos de TiAl y Cr, variando la potencia aplicada al blanco de Cr entre 0-170W. La composición química elemental, microestructura, morfología superficial y rugosidad fueron evaluadas mediante espectrofotometría electrónica Auger (AES, por sus siglas en inglés), difracción de rayos X (XRD, por sus siglas en inglés), microscopía electrónica de barrido (SEM, por sus siglas en inglés) y perfilometría mecánica. La resistividad eléctrica se midió mediante el método de cuatro puntas y sus propiedades ópticas se caracterizaron por espectrofotometría UV- Vis-NIR. De acuerdo con los resultados obtenidos, se observó que la concentración de Cr en el recubrimiento influye sobre la composición química, microestructura y morfología, incidiendo en las propiedades eléctricas y ópticas de los recubrimientos de TiAlCrN. Con una variación de Cr entre el 0 at% y 12 at% se presentó una transición de fases desde una estructura monofásica hexagonal tipo wurtzita hasta una estructura monofásica cúbica tipo NaCl, pasando por una estructura bifásica hexagonal/cúbica. Igualmente, la adición de Cr aumentó el tamaño de cristalito y con este la rugosidad de los recubrimientos. Los recubrimientos presentaron un comportamiento óhmico a temperatura ambiente y exhibieron resistividades eléctricas superficiales dentro del rango de los semiconductores. La adición de Cr permitió disminuir esta resistividad de 490,1±43,4 Ωcm a 1,5±0,1 Ωcm. Respecto a las propiedades ópticas, estos se caracterizaron por exhibir una baja reflectancia, la cual no superó el 1,5 % en todo el rango del espectro estudiado y una alta absorción en la región UV, la cual disminuye para longitudes de ondas mayores. El aumento de la concentración de cromo disminuyó la energía de la brecha prohibida óptica (Gap óptico) de 2,9 eV a 2,3 eV, disminuyó la transmitancia, aumentó la absorción y no afectó la reflectancia de los recubrimientos en el rango de longitudes de onda evaluado. Mediante el método de Bhattacharyya calculó el índice de refracción (n) y coeficiente extinción (k) a partir del espectro de transmitancia. (Texto tomado de la fuente)

This research work develops a study of the electrical and optical properties of TiAlCrN coatings with different Cr concentrations and thicknesses of 222±25 nm and 1040±40 nm. The coatings were deposited on glass substrates by reactive co-sputtering technique using TiAl and Cr targets, varying the power applied to the Cr target between 0W to 170W. Elemental chemical composition, microstructure, surface morphology and roughness were evaluated by Auger electron spectroscopy (AES), X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and mechanical profilometry, respectively. The electrical resistivity was measured by the four-prong method and their optical properties were characterized by UV-Vis-NIR spectrophotometry. According to the results obtained, it was observed that the Cr concentration in the coating influences the chemical composition, microstructure, and morphology, affecting the electrical and optical properties of the TiAlCrN coatings. With a Cr variation between 0 at% and 21 at%, a phase transition from a single-phase hexagonal wurtzite-type structure to a single-phase cubic NaCl-type structure, passing through a two-phase hexagonal/cubic structure was presented. Likewise, the addition of Cr increased the crystallite size and with it the roughness of the coatings, the crystallite size varied between 30nm-46nm and 27nm- 66nm for the thinner and thicker coatings, respectively. The coatings showed an ohmic behavior at room temperature and exhibited surface electrical resistivities within the semiconductor range. The addition of Cr allowed decreasing this resistivity from 490.1±43.4 Ωcm to 1.5±0.1 Ωcm. Regarding the optical properties, the coatings exhibited low reflectance, which did not exceed 1.5 % in the whole range of the spectrum studied, and showed a high absorption in the UV region, which decreases for longer wavelengths. The addition of chromium decreased the optical Gap from 2.9 eV to 2.3 eV, decreased the transmittance, increased the absorption, and did not affect the reflectance of the coatings in the wavelength range evaluated. The refractive index (n) and extinction coefficient (k) were calculated using the Bhattacharyya method from the transmittance spectrum. (Texto tomado de la fuente)