Producción y caracterización de propiedades anticorrosivas del recubrimiento TiAlSiN depositadas con el sistema de sputtering reactivo

Abstract

En este trabajo se elaboraron recubrimientos nano-estructuradas de TiAlSiN sobre sustratos de acero 316l, mediante la técnica sputtering magnetrón reactivo, se evaluó su Microdureza, rugosidad, adherencia, resistencia a la corrosión y al desgaste. La micro estructura de los recubrimientos se analizó por medio de Difracción de rayos x por medio de la técnica Bragg- Bretano, Microscopio electrónica de barrido, Microscopia de fuerza atómica, y interferómetro. Los recubrimientos obtenidos poseen una superficie de muy baja rugosidad, esta magnitud disminuye con un aumento de la cantidad de silicio sobre el recubrimiento y además factores como la cantidad de nitrógeno y potencia tienen un mayor efecto sobre la morfología de la superficie, esta relación se establece de acuerdo al diseño de experimentos factorial fraccionado establecido para este trabajo. Los recubrimientos se realizaron en una atmosfera reactiva 40%N y 60%Ar, con una potencia de 150 W durante 30 minutos sobre sustratos de acero 316l y silicio con orientación preferencial (100). De la caracterización electroquímica, los recubrimientos disminuyeron la velocidad de corrosión del sustrato cerca a los 2 órdenes de magnitud, a la pruebas de impedancia electroquímica se en diferentes intervalos de tiempo (0h, 24h, 48h, 72h, y 168h)muestran una variación de tipo farádico, controlado por elementos capacitores y fue representado por un circuito equivalente que se ajusta a los resultados de la respuesta según el diagrama de bode y al ajuste Kramers Kroning, la resistencia a la corrosión para los recubrimientos obtenidos no depende de la cantidad de silicio de los recubrimientos, pero se relaciona con el espesor. Los recubrimientos obtenidos muestran que la resistencia al desgaste depende de la dureza del recubrimiento y la rugosidad, en nuestro sistema estos parámetros se controlaron con la cantidad de silicio que fueron agregados al blanco durante la deposición.

In this work, nano-structured TiAlSiN coatings on 316l steel substrates were prepared using the reactive magnetron sputtering technique. Their microhardness, roughness, adhesion, corrosion resistance and wear were evaluated. The microstructure of the coatings was analyzed by X-ray diffraction using the Bragg-Bretano technique, scanning electron microscope, atomic force microscopy, and interferometer. The obtained coatings have a surface of very low roughness, this quantity decreases with an increase of the amount of silicon on the coating and also factors like the quantity of nitrogen and power have a greater effect on the surface morphology, this relation is established According to the design of fractional factorial experiments established for this work. The coatings were made in a 40% N and 60% Ar reactive atmosphere, with a power of 150 W for 30 minutes on substrates of 316l steel and silicon with preferential orientation (100). From the electrochemical characterization, the coatings decreased the corrosion rate of the substrate near 2 orders of magnitude, the tests of electrochemical impedance at different time intervals (0h, 24h, 48h, 72h, and 168h) show a variation of Faronic type, controlled by capacitors and was represented by an equivalent circuit that conforms to the results of the response according to the bode diagram and the Kramers Kroning setting, the corrosion resistance for the coatings obtained does not depend on the amount of silicon Of the coatings, but is related to the thickness. The obtained coatings show that the resistance to the wear depends on the hardness of the coating and the roughness, in our system these parameters were controlled with the amount of silicon that were added to the target during the deposition.